碳化硅的產(chǎn)業(yè)鏈可以分為三個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié),一是上游襯底,二是中游外延片,三是下游器件制造。縱觀整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè),美,日,歐呈現(xiàn)三足鼎立的態(tài)勢(shì),寡頭競爭明顯。20世紀(jì)80年代以來,為了保持航天,軍事和科技強(qiáng)國的地位,美,日,歐等發(fā)達(dá)國家始終把寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)放在極其重要的戰(zhàn)略地位,投入巨資實(shí)施了一批裝備系統(tǒng)能力這些國家和地區(qū)在碳化硅半導(dǎo)體領(lǐng)域一直走在世界前列。 SiC半導(dǎo)體器件的產(chǎn)業(yè)化主要以德國英飛凌,美國Cree公司,GE,日本Romani公司,豐田公司等為代表。
與美國、日本和歐洲相比,中國的氣流粉碎機(jī)碳化硅企業(yè)雖然在技術(shù)、生產(chǎn)能力等方面仍然缺乏,但目前中國的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)開始形成,在碳化硅產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)上,國內(nèi)企業(yè)有望在當(dāng)?shù)厥袌鰧?shí)現(xiàn)彎道趕超。